[22p-E105-1~18] 8.1 プラズマ生成・診断

[22p-E105-1] 電子サイクロトロン共鳴プラズマ中の基板ステージへの負パルスバイアス電圧印加によるプラズマ密度増加

〇濱口 育未¹、ベ ハンシン¹、笹井 建典²、鈴木 陽香^1,2、豊田 浩孝^1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

キーワード：プラズマ、電子サイクロトロン共鳴プラズマ