[22p-E105-1~18] 8.1 Plasma production and diagnostics

[22p-E105-12] Measurement of the strength and fluctuation of electric field vector in Ar plasma using a fine particle trapped by optical tweezers (1)

〇KUNIHIRO KAMATAKI¹, Sakyo Okunaga¹, Toma Sato¹, Kentaro Tomita², Pan Yiming³, Daisuke Yamashita¹, Naoto Yamashita¹, Takamasa Okumura¹, Naho Itagaki¹, Kazunori Koga^1,4, Masaharu Shiratani¹ (1.Kyushu Univ. ISEE., 2.Hokkaido Univ., 3.Kyushu Univ. IGSES., 4.NINS)

Keywords:electric field measurement, optical tweezers, plasma processing

本研究では, 光ピンセット法によりプラズマ中微粒子を捕捉・移動し, その微粒子挙動によりプラズマ中の電場計測の開発を試みてきている．プラズマ中の光捕捉された微粒子を用いた電場及び電場揺動計測に関する研究はほとんどない. そのために, 本稿ではプラズマ中の光捕捉された微粒子を用いた電場及び電場揺動計測について報告する.