[22p-E201-1~9] プローブ顕微鏡を用いたナノスケール化学分光の最前線

[22p-E201-7] ナノフーリエ赤外分光法を利用した複合材料の解析

〇井藤 浩志¹、本田 暁紀^1,2 (1.産総研、2.東理大)

キーワード：近接場顕微鏡、赤外分光、複合材料

走査型プローブ顕微鏡(SPM)を利用した化学状態の識別の試みが多数行われている。今回、ナノスケールのグレーティング作成技術を利用したテスト試料（最小線幅15nmのSiとSiO₂が交互に埋め込まれている）を作成して、Nano-FTIR法、および、近接場顕微鏡を利用した赤外吸収マッピングの分解能を系統的に調べ、分解能の最適化を行った。この結果を利用して、複合材料の赤外吸収マッピングを試みた結果を報告する。