[22p-E303-1~13] 3.15 Silicon photonics and integrated photonics

[22p-E303-12] Design of hydrogen gas sensor based on Pt-WO₃/Si microring resonator with Al₂O₃ cladding layer for high sensitivity and high-speed response

〇(M2)Masataka Takahashi¹, Taro Arakawa¹, Shinji Okazaki¹, Yoshiaki Nishijima¹, Akio Higo² (1.Yokohama National Univ., 2.Univ. of Tokyo)

Keywords:Silicon photonics, Sensing device

本研究では、光学的水素ガスセンサの超小型・軽量化、低コスト化を目指し、Pt-WO₃水素感応膜とSiマイクロリング共振器（MRR）を組み合わせた水素ガスセンサを提案し、その設計と動作実証を行ってきた。今回、高感度・高速応答化に向けた構造について調査したので報告する。