[22p-E304-1~6] 可視光からX線によるイメージング　ーその汎用性の探求ー

[22p-E304-4] X線光電子分光によるイメージング～放射光軟X線を活用したデバイス構造の顕微オペランド分析～

〇永村 直佳^1,2,3 (1.物材機構、2.JSTさきがけ、3.東京理科大)

キーワード：光電子分光、イメージング、オペランド

各種界面における不均一性が特性を左右する微細デバイス構造において、電荷移動の空間イメージングは材料・デバイス設計に重要な指針を与える。そこで我々は、試料に電場を印加しつつ高空間分解能でXPSマッピング計測が可能な放射光軟X線走査型オペランド顕微分光装置を開発し、トランジスタや電池等の構造内部における界面電荷移動空間分布を解明してきた。講演では装置構成や分析事例、インフォマティクス活用について議論する。