[22p-E307-1~14] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[22p-E307-5] 新規機能性ナノ粒子材料を用いた圧力センサの作製と特性評価

〇安田 達矢¹、渡邉 侑志²、庄司 宜徳²、野尻 亮真²、洪 振瑞³、関根 智仁^1,2,3、熊木 大介³、川口 正剛^1,2、時任 静士^1,2,3 (1.山形大工、2.山形大院有機、3.山形大ROEL)

キーワード：圧力センサ、ナノ粒子材料

フレキシブルな圧力センサは、ウェアラブルデバイスなどへの応用が期待されているデバイスである。特に、圧電性をもつ強誘電性高分子を用いた高感度圧力センサは、脈拍を検出できるヘルスケアセンサへの応用が期待できる。一方、強誘電性高分子の圧電性発現には、成膜後分極処理が必要であるため、作製工程上の課題である。本研究では、分極処理が不要な新規高分子ナノ材料を用いた圧力センサを作製し、その特性評価を行った。