[22p-F307-1~11] 2.2 Radiation physics fundamentals & applications, radiation generators, new technology

[22p-F307-10] Comparison of Electrostatic Lenses for a Single Ion-Microbeam System

〇Yasuyuki Ishii¹, Takeru Ohkubo¹, Kazumasa Narumi¹, Yuichi Saito¹ (1.QST Takasaki)

Keywords:focusing lens, single ion implantation

ダイヤモンド中に導入された窒素と空孔がペアーを作り量子効果を発現する窒素センタを製作し、量子効果を得るため、窒素を1個ずつ20nm間隔で照射する技術としてポールトラップ型レーザー冷却イオン装置をイオン源として、これから1個ずつイオンを取り出して、注入する装置の単一イオン注入装置が提案されている。今回その装置に適した集束レンズとして、アインツェルレンズと加速レンズの比較を行った。