[22p-F307-1~11] 2.2 放射線物理一般・放射線応用・発生装置・新技術

[22p-F307-10] 単一イオン注入装置における静電レンズの比較

〇石井 保行¹、大久保 猛¹、鳴海 一雅¹、齋藤 勇一¹ (1.量研高崎研)

キーワード：集束レンズ、単一イオン注入

ダイヤモンド中に導入された窒素と空孔がペアーを作り量子効果を発現する窒素センタを製作し、量子効果を得るため、窒素を1個ずつ20nm間隔で照射する技術としてポールトラップ型レーザー冷却イオン装置をイオン源として、これから1個ずつイオンを取り出して、注入する装置の単一イオン注入装置が提案されている。今回その装置に適した集束レンズとして、アインツェルレンズと加速レンズの比較を行った。