[22p-F308-1~13] 2.1 検出器デバイス開発

[22p-F308-9] 高解像度・広視野X線イメージング検出器システムの開発

〇亀島 敬^1,2、初井 宇記^2,1 (1.高輝度光セ、2.理研)

キーワード：X線、シンチレーター、間接型

現在入手可能で最も大きなイメージ領域と150 Mpixelsの画素数を持つCMOSイメージセンサとこれに対応した大イメージサークル顕微鏡光学系、薄膜シンチレータで構築したX線イメージング検出器の開発を行っている。15.2 x 11.4 mm²視野を持つ試作機の視野中心および視野の4隅で1.2 µm line & spaceパターンが解像できた。これは回折限界性能1.0 µm line & spaceに近く、良好な性能が得られたと判断できる。