[22p-P03-1~23] 17 ナノカーボン(ポスター)

[22p-P03-14] スパッタ成膜MoO₃を用いた面対面供給によるMoS₂のCVD合成

〇小倉 匡樹¹、安藤 淳²、今井 崇人¹、番 貴彦³、山本 伸一¹ (1.龍谷大理工、2.産総研、3.滋賀県立大工)

キーワード：二硫化モリブデン、遷移金属ダイカルコゲナイド