[22p-P03-1~23] 17 ナノカーボン(ポスター)

[22p-P03-22] ソフトコンタクトプローブ：壊れやすい試料への電気コンタクト形成

〇吉武 道子¹ (1.物材機構)

キーワード：非破壊コンタクト、電気特性測定、極薄膜

AFMにおいて非破壊測定とみなされている弾性変形領域の圧力を，AFMのような精密な制御無しに目視で調整できるプローブを開発し報告した。このソフトプローブを用いると，脆い材料を破壊せずに電気特性測定や電圧印加を行うことができる。今回、プローブ球のサイズやワイヤーのばね定数のバリエーションを増やす試みを行ったので報告する。