[22p-P05-1~4] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[22p-P05-4] イオン液体を利用した高抵抗材料の高精度キャリア易動度評価

〇(M1)柴崎 剛¹、木村 匠¹、山田 泰裕¹、音 賢一¹ (1.千葉大理)

キーワード：半導体、易動度、イオン液体

イオン液体を用いたキャリア誘起と、van der Pauw法による4端子の電気伝導測定を組み合わせることで、高抵抗材料の高精度な易動度評価を試みた。試料の等価回路モデルより、ゲート電圧印加により誘起されるキャリア密度を推定した。講演では、ノンドープSiなどの比較的高抵抗を示す材料を用いて、室温における電気伝導度のゲート電圧依存性から得られる易動度を従来の２端子法と今回の４端子法で比較した結果を報告する。