[22p-P06-1~23] 17 ナノカーボン(ポスター)

[22p-P06-1] 同軸型アークプラズマ成膜法による導電性超ナノ微結晶ダイヤモンド電極の作製

〇楢木野 宏¹、橋口 寛生¹、吉武 剛¹ (1.九大院総理工)

キーワード：超ナノ微結晶ダイヤモンド薄膜、同軸型アークプラズマ成膜法、電気化学電極

本研究では，同軸型アークプラズマ成膜法によりチタン基板上に導電性超ナノ微結晶ダイヤモンド薄膜を成膜し，薄膜の化学結合状態と電気化学特性の相関を調査した．