[22p-P06-1~23] 17 ナノカーボン(ポスター)

[22p-P06-23] 有機単分子膜の挿入によるTMDC—FETにおけるコンタクト特性の改善

坂梨 昂平¹、柯 梦南¹、〇青木 伸之¹ (1.千葉大物質)

キーワード：遷移金属ダイカルコゲナイド、オーミックコンタクト、有機単分子膜

遷移金属ダイカルコゲナイドは将来の大規模集積回路における２次元チャネル材料として有望視されているが，半導体デバイスの製造プロセスに組み込めるような，より普遍的で拡張性が高いオーミックコンタクトの確立が必要と考えられる。そこで我々は，TMDC結晶上への自己形成した有機単分子膜を介した金属／有機／TMDC接合形成によるオーミック接触の実現に向けた取り組みを報告する。