[22p-P06-1~23] 17 ナノカーボン(ポスター)

[22p-P06-8] 深層学習によるグラフェンFETのスクリーニング方法の確立

〇牛場 翔太¹、伊藤 直也¹、宮川 成人¹、品川 歩¹、中野 友美¹、小野 尭生^2,3、金井 康²、院南 誠嗣¹、谷 晋輔¹、木村 雅彦¹、松本 和彦² (1.村田製作所、2.阪大産研、3.JSTさきがけ)

キーワード：グラフェンFET、深層学習、画像解析

本研究では、深層学習を用いてG-FETの光学顕微鏡画像をグラフェン・電極・基板・汚れに分類するアルゴリズムを構築した。深層学習にはU-Netと呼ばれるネットワーク構造を用いた 。訓練したネットワークは、F₁-スコアと呼ばれる精度を表す指標で80%以上を達成した。本結果は、本研究で確立した手法がG-FETの1st スクリーニング方法として有望であることを示している。