[23a-D214-1~7] 11.4 アナログ応用および関連技術

[23a-D214-6] ヘリウムイオン顕微鏡技術による銅酸化物高温超伝導体YBCO薄膜の物性制御（２）

〇三澤 哲郎¹、井上 陸^1,3、石田 茂之¹、小川 真一¹、森田 行則¹、永崎 洋¹、内田 慎一^1,2、西尾 太一郎³、浦野 千春¹ (1.産総研、2.東大、3.東理大)

キーワード：高温超伝導、ジョセフソン接合、ヘリウムイオン顕微鏡

銅酸化物高温超伝導体ジョセフソン接合の作製においては、数nmの厚さを持つ高品質なトンネル障壁層の作製が課題である。近年、ヘリウムイオン顕微鏡（HIM）技術を用いたサブナノメートル径収束ヘリウムイオンビーム照射により銅酸化物高温超伝導体薄膜の超伝導特性を局所制御し、ジョセフソン接合を作製する手法が提案された。本報告では、収束ヘリウムイオンビームの照射条件と接合特性との関係を明らかにすることを目指した。