[23a-D315-1~11] 3.1 光学基礎・光学新領域

[23a-D315-10] FeSi₂マイクロドット上での光熱誘起マイクロバブルに関する研究

〇(B)原 綾香¹、名村 今日子¹、鈴木 基史¹ (1.京大工)

キーワード：薄膜、マイクロバブル、レーザー

金ナノ粒子薄膜にレーザーを集光し脱気水を局所加熱すると直径10 μm程度の水蒸気バブルが生成し，その周辺に1 m/sオーダーの急激な対流が発生する。この対流は新たなマイクロ流体駆動源として期待されている。しかし，レーザーのスポット径及び波長以下の微小範囲を加熱した際のバブルの挙動は明らかでない。本研究では，耐熱材料として知られるFeSi₂を用いて，直径2.0 μm以下のマイクロドットを作製する方法を確立し，そのドット上での光熱誘起バブルの挙動を明らかにする。