[23a-E101-1~11] 17.3 層状物質

[23a-E101-10] 層状物質応用 イメージセンサ 用 受光 素子 の 作製 と 特性評価

〇中河 義典¹、佐野 雅彦¹、岡内 茂樹¹、向井 孝志¹、大野 恭秀²、永瀬 雅夫² (1.日亜化学、2.徳島大)

キーワード：グラフェン、MoWS2、受光素子

層状物質イメージセンサ素子等の応用研究の基礎検討として、グラフェン透明電極とSi(100)面ショットキー接合を利用した受光デバイスのグラフェン透明電極上にMoxW1-xS2膜を転写した際の受光素子特性の変化について、角度分解高電子分光法による素子内の電子状態観察結果等と関連付けて報告する。