[23a-E103-1~10] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[23a-E103-9] 深振動マグネトロンスパッタリングの発光分光計測とイオン閉じ込め効果の検討

〇横山 英佐¹、小野 洋平¹、坂本 大樹¹、高山 昇大¹、西宮 信夫¹、實方 真臣¹、戸名 正英²、山本 宏晃²、塚本 恵三²、冨宅 喜代一³、大下 慶次郎⁴、美齊津 文典⁴ (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)

キーワード：パルススパッタリング、発光分光分析、深振動マグネトロンスパッタリング

高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)中でも、櫛型の放電電力波形を用いた深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）は優れたアークフリー特性を有しDLC成膜を中心に注目されている。本研究では、DOMSプラズマのスパッタリング過程を明らかにすることを目的とし、プラズマ発光に対するターゲットからの距離依存性を行い、その観測結果をもとに磁場トラップ領域におけるイオン閉じ込め効果の可能性について検討した。