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[23a-E202-6] [第43回論文奨励賞受賞記念講演] ScAlMgO4基板上への高In組成InGaN発光素子の作製
キーワード:ScAlMgO4、高In組成InGaN
本研究では、これまで緑~赤色の可視長波長領域におけるInGaN系発光デバイスの効率改善を目指し、In組成が約17%のInGaNと格子整合するScAlMgO4基板上への結晶成長に取り組んできた。本基板上に格子整合したInGaN厚膜および量子井戸構造を作製することで従来のGaN/sapphireをベースにした構造と比較して、長波長領域の発光特性が大幅に改善されることを見出した。