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△ [23a-E203-10] AlxOy触媒担持層の酸化状態制御による長尺・高密度カーボンナノチューブの小径化
キーワード:カーボンナノチューブ
小径カーボンナノチューブ(CNT)の長尺・高密度合成を目的に,蒸着法でアルミナを成膜する際の酸素雰囲気圧力制御により,アルミナ層の構造制御を試みた.原子間力顕微鏡(AFM)により成膜したアルミナ表面を観察したところ,酸素圧力に応じて大きく3パターンの構造に分類できることが分かった.触媒粒子は,アルミナ成膜時の酸素圧力が1.5×10-2 Paで最も粒子径が小さく高密度に形成されたことが分かった.