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[23a-E203-4] FeRu 触媒を用いた ACCVD 法による単層カーボンナノチューブ成長
キーワード:カーボンナノチューブ、CVD、合金
単層カーボンナノチューブ(SWCNT)は、エレクトロニクス分野での応用が期待さている代表的なナノ材料である。そして近年、SWCNT のカイラリティ制御の観点から WCo 触媒などの合金触媒が注目されているが白金族元素を含む合金触媒からの成長報告は少ない。本研究では、FeRu 合金触媒からの SWCNT 成長を行い、成長量、カイラリティの観点を報告する。