[23a-E205-1~10] 10.1 Emerging materials in spintronics and magnetics (including fabrication and characterization methodologies)

[23a-E205-4] L1₂-ordering of Co–Pt films on Si substrates

〇Daigo Kobayashi¹, Ryo Toyama¹, Jun-ichi Yamaura^2,3, Yutaka Majima^1,2 (1.MSL, Tokyo Tech, 2.MCES, Tokyo Tech, 3.IMSS, KEK)

Keywords:CoPt3, Co3Pt, L12-ordering

本研究では、CoPtの組成比が1対3と3対1のCo/Pt交互多積層薄膜をSi/SiO₂基板上に作製し、アニール処理を行うことで、L1₂規則化Co–Pt薄膜の形成を試みた。アニール後の結晶構造と表面形態をそれぞれ、放射光X線を用いたすれすれ入射X線回折法 (GI-XRD; KEK BL-8B) と走査電子顕微鏡により評価したので、報告する。