[23a-E302-1~11] CS.9 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価、15.6 IV族系化合物（SiC）のコードシェアセッション

[23a-E302-11] アルコール希釈TMAHを用いた窒化ガリウムのウエットエッチング

〇(M2)浜屋 有志¹、岡本 萌¹、新海 聡子¹ (1.九工大)

キーワード：窒化ガリウム、GaN、エッチング