[23a-E304-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[23a-E304-11] 【注目講演】ベクトルビームを用いたダブルパルスレーザー加工における材料依存性

大野 剛史¹、〇小澤 祐市¹、上杉 祐貴¹、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研)

キーワード：ベクトルビーム、フェムト秒レーザー、レーザー微細加工

本研究では、高開口数のレンズで強く集光した径偏光ビームの焦点に形成される軸方向電場に着目し、レーザー加工における焦点での3次元的な偏光分布の寄与について実験的に明らかにすることを目的としている。本報告では、ベクトルビームと円偏光ビームを用いたダブルパルス加工光学系を構築し、本実験系を用いた各種金属表面に対する穴あけ加工実験から、焦点での軸方向電場の効果について詳細に議論する。