2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.7 レーザープロセシング

[23a-E304-1~11] 3.7 レーザープロセシング

2022年3月23日(水) 09:00 〜 12:00 E304 (E304)

西山 宏昭(山形大)

09:15 〜 09:30

[23a-E304-2] 超短パルスレーザー加工の時間分解複素透過率画像における球面収差補正計算

〇川野 将太郎1、戸田 圭一郎1、櫻井 治之2、小西 邦昭1、井手口 拓郎1 (1.東大院理、2.東大物性研)

キーワード:レーザー加工、時間分解デジタルホログラフィ、球面収差補正計算

我々はこれまでに、単一ポンプパルスによる加工穴形成過程の時間分解複素振幅イメージングに適した干渉計、およびそれを組み込んだ時間分解デジタルホログラフィ光学系を開発してきた。しかし、これまでの計測では、球面収差による回折波の影響のため、回折限界に近いサイズの構造を正しく取得できていなかった。本研究では角スペクトル法による伝搬計算により、この収差の補正に成功したことを報告する。