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△ [23a-E304-2] 超短パルスレーザー加工の時間分解複素透過率画像における球面収差補正計算
キーワード:レーザー加工、時間分解デジタルホログラフィ、球面収差補正計算
我々はこれまでに、単一ポンプパルスによる加工穴形成過程の時間分解複素振幅イメージングに適した干渉計、およびそれを組み込んだ時間分解デジタルホログラフィ光学系を開発してきた。しかし、これまでの計測では、球面収差による回折波の影響のため、回折限界に近いサイズの構造を正しく取得できていなかった。本研究では角スペクトル法による伝搬計算により、この収差の補正に成功したことを報告する。