[23a-E304-1~11] 3.7 Laser processing

△ [23a-E304-9] Femtosecond laser processing of self-standing monolayer graphene

〇Naohiro Kadoguchi^1,2, Taito Miwa^1,2, Yuuki Uesugi^1,3, Yuichi Kozawa¹, Shunichi Sato¹ (1.IMRAM, Tohoku Univ., 2.Fac. Eng., Tohoku Univ., 3.PRESTO, JST)

Keywords:laser processing, femtosecond laser, graphene

本講演では自立した単層グラフェンのフェムト秒レーザーによる加工について講演する。
本研究では空間光変調器を使って入射フェムト秒レーザーに周期的な空間位相変調パターンを与え、複数のビームに回折・分岐し、それらを単層グラフェン試料面上に集光して干渉加工を行った。
これにより単層グラフェンを数百nmオーダーの格子やドット状に加工することに成功した。