[23a-F407-1~8] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[23a-F407-2] 原子層エピタキシー法を用いて意図的にNを制御したGaAsN膜中のN分布評価

〇高木 俊作¹、河野 将大¹、中島 凌¹、鈴木 秀俊¹ (1.宮崎大工)

キーワード：希薄N化物