[23a-F408-1~9] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[23a-F408-3] 反射分光法によるアモルファスセレン薄膜の評価

〇後藤 民浩¹ (1.群馬大理工)

キーワード：セレン、屈折率、光反射率

優れた光電的性質を持つアモルファスセレン(a-Se)は、高感度撮像管やX線画像センサーへの応用が進んでいる。さらなる特性の向上には、バンドギャップ中の欠陥準位の本質的な理解が必要である。a-Se薄膜の微量な欠陥準位を評価するのに適した手法として、光熱偏向分光法(PDS)がある。PDSの活用には試料の屈折率を求める必要がある。本研究では, 可視光から赤外光までの幅広い波長領域の光反射率を調べ、a-Se薄膜の屈折率の見積もりを行った。