[23a-P01-1~15] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[23a-P01-1] 集束陽子線描画により作製したマイクロ構造体によるフォトニックナノジェット生成と共焦点顕微鏡観察

瀬谷 大也¹、前田 祐希²、田中 柊生²、関 宏範³、〇松井 龍之介¹、西川 宏之² (1.三重大院工、2.芝浦工大工、3.芝浦工大SIT総研)

キーワード：フォトニックナノジェット、集束陽子線描画、共焦点顕微鏡