[23p-D113-1~19] 1.6 超音波

[23p-D113-12] 超高感度ボールSAW水素センサ

〇竹田 宣生¹、大泉 透¹、福士 秀幸¹、山中 一司¹、菅原 真希¹、田中 智樹¹、岡野 達広¹、武田 昭信¹、赤尾 慎吾¹、塚原 祐輔¹、岩谷 隆光¹、辻 俊宏^2,1 (1.ボールウェーブ㈱、2.東北大学)

キーワード：弾性表面波、水素センサ、ボールSAWデバイス

80MHz／240MHzの2周波ボールSAW水素センサで、遅延時間変化を測定することにより水素濃度約6ppbvの検出限界が得られた。この値は既存水素センサ中の最高感度と考えられる。