[23p-D214-1~19] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[23p-D214-7] 超伝導量子ビット制御に向けた窒化物系超伝導集積回路プロセスの開発

〇宮嶋 茂之¹、山下 太郎²、田中 雅光²、竹内 尚輝³、寺井 弘高¹ (1.情通機構、2.名大院工、3.産総研)

キーワード：超伝導、ジョセフソン接合、窒化ニオブ