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[23p-E103-3] 水シールド環境下でのマイクロ波励起水蒸気プラズマの生成と応用
キーワード:プラズマ液体相互作用、マイクロ波プラズマ、ナノ粒子合成
プラズマ-液体相互作用を様々な分野へ応用する研究に注目が集まっているが、大気ガスの巻き込み、絶縁破壊電圧の高さ、液体の導電率等の影響により、プラズマを安定生成し、発生した活性種を効率よく利用することは容易ではない。そこで我々は、プラズマ周囲の雰囲気を制御し、プラズマと液体領域を分離しつつ、互いに反応させることが重要であると考え、二種類の水シールド環境下でのマイクロ波励起プラズマ装置の開発を行った。