[23p-E202-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

[23p-E202-11] 顕微ラマン分光法による多層電極付n型GaN結晶の高温電子物性と熱応力効果

〇須田 潤¹、川瀬 幹貴¹ (1.中京大学)

キーワード：ワイドギャップ半導体、顕微ラマン分光、熱応力効果

車載用パワーデバイスは高温動作のため、電極界面の半導体の熱応力や電子物性を知る必要がある。本研究では、多層電極(Au/Ti/Cr)付n型GaN結晶の熱応力特性と同時に高温電子物性を非破壊で求めることを目的とし、室温から200℃のラマンスペクトルを測定した。スペクトル解析より求めた電極近傍の熱応力はFEMの解析結果とほぼ一致し、電極近傍の比抵抗は電極遠方のものより小さくなることがわかった。