[23p-E202-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

[23p-E202-13] 分光エリプソメトリーを用いたサファイア基板上Al_1-xIn_xN混晶のバンド端近傍における光学特性解析

〇豊田 隼大¹、村上 裕人¹、宮田 梨乃¹、今井 大地¹、宮嶋 孝夫¹、三好 実人²、竹内 哲也¹ (1.名城大院理工、2.名工大)

キーワード：AlInN、分光エリプソメトリー