[23p-E202-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

[23p-E202-7] オフ角が異なるサファイア上AlNテンプレートを用いたAlGaN量子井戸のカソードルミネッセンス評価

〇倉井 聡¹、藤井 恵¹、大西 悠太¹、中谷 文哉¹、岡田 成仁¹、上杉 謙次郎^2,4、三宅 秀人^3,4、山田 陽一¹ (1.山口大院・創成科学、2.三重大・地域創生戦略企画室、3.三重大院・工、4.三重大院・地域イノベ)

キーワード：AlGaN、カソードルミネッセンス、オフ角