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[23p-E301-4] 単結晶Siウェハーの表面構造が柔軟性に与える影響
キーワード:太陽電池、シリコンウェハー
近年、移動体など新しい分野への太陽電池の導入が検討されている。これらの応用では軽量性に加え、意匠性等の観点から柔軟性が求められる。一方で、光吸収率を向上させるためのSiウェハー表面のテクスチャ構造が機械特性に影響を与えることが報告されている。本研究では様々な表面構造を持つSiウェハーに対し、3次元的な曲げの評価が可能である二軸曲げ試験を行い、柔軟性を評価した。