2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

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CS コードシェアセッション » 【CS.9】 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価、15.6 IV族系化合物(SiC)のコードシェアセッション

[23p-E302-1~18] CS.9 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価、15.6 IV族系化合物(SiC)のコードシェアセッション

2022年3月23日(水) 13:30 〜 18:30 E302 (E302)

塩島 謙次(福井大)、田中 亮(富士電機)

18:15 〜 18:30

[23p-E302-18] 半絶縁性窒化ガリウムからのテラへルツ放射特性とUV照射による水素脱離

〇村上 史和1、Abdul Mannan1、芹田 和則1、村上 博成1、斗内 政吉1 (1.阪大レーザー研)

キーワード:窒化ガリウム、テラへルツ、水素脱離