[23p-E304-1~6] レーザープロセシング技術×AIの最新研究動向

[23p-E304-2] 機械学習による収差補正を用いた高精度フェムト秒レーザー加工

〇長谷川 智士¹、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大)

キーワード：機械学習、補償光学、フェムト秒レーザー加工

収差補正のための補償光学は，光波面の検出による収差計測とSLMによる波面のフィードバック制御から構成される．その補償光学において，波面検出は重要である．近年の機械学習アルゴリズムの進展や，GPUを用いた高速計算の実現を背景として，機械学習を用いた波面検出が報告された．機械学習を用いた方法は，従来型のイメージセンサーを用いた単純な光学系で実装される．また，複数回の撮影や繰り返し計算が不要なため，シングルショット計測が可能である．本研究では，機械学習による収差補正をフェムト秒レーザー加工に応用した．製造現場に設置されるレーザー加工機は，一般に，外部振動による光学配置のズレや，空気ゆらぎによる外乱を含むため，必ずしも静粛とは言えない．その様な環境下で生じる収差は，集光ビームの品質を著しく劣化させる．よって，収差補正は，レーザー加工の高精度化において重要である．