2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/配線/集積化技術

[23p-E307-1~20] 13.5 デバイス/配線/集積化技術

2022年3月23日(水) 13:30 〜 19:00 E307 (E307)

遠藤 和彦(産総研)、堀 匡寛(静大)

16:45 〜 17:00

[23p-E307-12] シリコンナノワイヤトランジスタ特性の室温および低温におけるナノワイヤ幅依存性

〇(M2)山中 勇人1、水谷 朋子1、更屋 拓哉1、小林 正治1、平本 俊郎1 (1.東大生研)

キーワード:半導体、シリコンナノワイヤトランジスタ