[23p-E307-1~20] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[23p-E307-2] [第13回シリコンテクノロジー分科会論文賞受賞記念講演] 自己ジュール加熱金属ナノシートアレイによる微量な多分子の低消費電力ガスセンシング

〇田中 貴久¹、田渕 健太²、舘洞 康平²、椎木 陽介²、中川 修哉²、高橋 綱己¹、清水 涼太²、石黒 仁揮²、黒田 忠広¹、柳田 剛¹、内田 建¹ (1.東大工、2.慶大工)

キーワード：金属ナノシート、ガスセンサ、自己加熱