[23p-F308-1~14] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[23p-F308-2] スパッタ法により作製した多結晶BaSi₂膜のポテンシャル障壁の評価

〇木戸 一輝¹、小板橋 嶺太¹、長谷部 隼¹、召田 雅実²、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大学、2.東ソー株式会社)

キーワード：BaSi2、スパッタ、太陽電池