2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[23p-P04-1~5] 6.1 強誘電体薄膜

2022年3月23日(水) 13:30 〜 15:30 P04 (ポスター)

13:30 〜 15:30

[23p-P04-5] Pb(Zr,Ti)O3圧電薄膜の電気的信頼性評価

〇西門 拓海1、大西 康太1、神野 伊策1、天本 百合奈2、伊達 智洋2、下地 規之2 (1.神戸大工、2.ローム(株))

キーワード：圧電薄膜、PZT、信頼性