[23p-P05-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[23p-P05-3] 熱処理による水素化DLC膜の構造変化

〇三嶋 友博¹、寺井 響¹、中西 康次¹、新部 正人¹、神田 一浩¹、福室 直樹²、竹内 雅耶²、堀 史説³、薮内 敦⁴、木野村 淳⁴ (1.兵県大高度研、2.兵県大工、3.大阪府大工、4.京大複合研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン