[23p-P05-1~11] 6.2 Carbon-based thin films

[23p-P05-7] Fabrication of Graphitic Carbon Nitride Thin Films and the Characterization

〇(B)Taira Nishitani¹, Yasushi Ishiguro¹, Kenji Hirakuri¹ (1.Tokyo Denki Univ.)

Keywords:graphitic carbon nitride, g-C3N4, urea

グラファイト状窒化炭素 (g-C₃N₄) は，層状の結晶構造を持つ半導体で化学的・熱的にも安定であることから，様々な半導体デバイス材料としての応用が期待されている。本研究ではg-C₃N₄を半導体デバイスへ応用するため，尿素を原料としてg-C₃N₄を合成し，その得られたg-C₃N₄粉末とそれを薄膜化したときの化学組成や電子構造・結晶構造を評価した。