[23p-P05-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[23p-P05-8] アモルファス炭素膜へのレーザ照射による構造制御を用いた摺動性向上

〇原田 大¹、Tunmee Sarayut²、青野 祐子¹、Euaruksakun Chanan²、Rittihong Ukit²、平田 祐樹¹、大竹 尚登¹、赤坂 大樹¹ (1.東工大、2.タイ放射光研)

キーワード：アモルファス炭素膜、レーザ照射

アモルファス炭素膜にレーザ照射する，表面でsp²結合炭素が増加する．グラファイトは固体潤滑材である為，sp²結合炭素も摺動性能向上に寄与すると考えられる^[1]．本研究はアモルファス炭素膜にパルスレーザをパターン照射し，照射域の炭素結合状態の変化を捉えると共にその摺動特性を評価した．