[23p-P06-1~16] 6.4 薄膜新材料

[23p-P06-1] Mgと遷移金属を同時添加したAlNにおける圧電特性の調査

〇平田 研二¹、山田 浩志¹、上原 雅人¹、アンガライニ スリアユ¹、秋山 守人¹ (1.産総研)

キーワード：圧電体、窒化物、第一原理計算

本研究では、Mgと遷移金属Xを同時添加したAlNを対象に、第一原理計算により系統的に圧電特性を評価した。計算結果より、ほとんどのMgとXの組合せで圧電定数はAlNよりも高くなった。これまでに高い圧電特性が報告されているScAlNと同等以上の添加元素の組合せも見出すことができた。また、Xが第5・6周期遷移金属の場合、原子番号によって圧電特性が系統的に変化し、Xの価電子数が圧電特性に影響を与えていることが示唆された。