[23p-P06-1~16] 6.4 薄膜新材料

[23p-P06-10] 異なる条件で蒸着したブラックAl膜の作製と特性評価

前川 祥毅¹、〇川村 みどり¹、木場 隆之¹、阿部 良夫¹、上田 幹人²、Hruska Martin³、Kejzlar Jan³、Fitl Premysl³ (1.北見工大、2.北大院工、3.プラハ化技大)

キーワード：ブラックメタル、真空蒸着法、Al