2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[23p-P06-1~16] 6.4 薄膜新材料

2022年3月23日(水) 13:30 〜 15:30 P06 (ポスター)

13:30 〜 15:30

[23p-P06-10] 異なる条件で蒸着したブラックAl膜の作製と特性評価

前川 祥毅1、〇川村 みどり1、木場 隆之1、阿部 良夫1、上田 幹人2、Hruska Martin3、Kejzlar Jan3、Fitl Premysl3 (1.北見工大、2.北大院工、3.プラハ化技大)

キーワード:ブラックメタル、真空蒸着法、Al