13:30 〜 15:30
[23p-P06-16] 反応性スパッタ法により室温堆積したYSZ膜結晶性へのスパッタ圧力の影響
キーワード：YSZ薄膜、反応性スパッタ法、低温堆積
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料
[23p-P06-1~16] 6.4 薄膜新材料
2022年3月23日(水) 13:30 〜 15:30 P06 (ポスター)
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料
2022年3月23日(水) 13:30 〜 15:30 P06 (ポスター)
13:30 〜 15:30
キーワード：YSZ薄膜、反応性スパッタ法、低温堆積