[23p-P06-1~16] 6.4 薄膜新材料

[23p-P06-3] UHVスパッタエピタキシー法によるZnSnN₂層の成長

〇水内 颯太郎¹、寺下 翔伍¹、吉田 圭佑¹、篠田 宏之¹、六倉 信喜¹ (1.東京電機大工)

キーワード：スパッタエピタキシー、窒化亜鉛スズ、三元系窒化物